Pura Plus在线微量湿度异动变送器尺寸和指标的需求变化而特殊设计的。Pura Plus 是一款在线微量湿度异动变送器,多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应zui末端,用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂,涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后,会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入,影响下游使用。而安装在分布系统中的 Pura Plus 能够提供快速的响应指示,在 20 ppb 湿气级别下 1 ppb 的异动的响应时间小于1 分钟。 亮点
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